設備詳細
設備名称 低真空走査電子顕微鏡
分類 大項目 小項目
分析機器 表面観察
メーカー ㈱日立製作所
型番 S-2380N
概要・外観 電子線を用いて、観察対象の試料表面を数千～数万倍に拡大して観察することができる装置。低温低真空下で、無蒸着試料の観察も可能。
性能・構成内訳 分解能：5.5nm、倍率：20～20万倍、検出像：2次電子像，反射電子像、試料冷却器：-10～10℃、試料サイズ：直径15mm以下(クールステージ使用時)
主な用途
（分析対象物）		 各種材料の表面微細構造観察
設置場所 ※※※※※
留意事項 お問合わせ先：
みやざきファシリティネットワーク事務局
（宮崎大学 研究・産学地域連携推進機構 研究基盤支援部門 内）
e-mail: bunseki@of.miyazaki-u.ac.jp
研究成果
（論文・研究内容）
最終更新日：2025/04/26
設備利用お問い合わせ先情報
担当者氏名 ※※※※※
Tel ※※※※※
e-mail ※※※※※
URL https://www.iri.pref.miyazaki.jp/
設備利用料金情報
利用形態 単価
設備利用
 		1835
 円/時間
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