設備詳細
設備名称 電界放出形分析走査電子顕微鏡
分類 大項目 小項目
分析機器 表面観察
メーカー ㈱日立ハイテクノロジーズ
型番 本体：S-4800
EDX検出器：EDAX
Genesis APEX2
概要・外観 電子線を用いて観察対象の試料表面を拡大し、最小でナノメートルオーダーの観察が可能な装置。また、付属の元素分析装置により、観察範囲に含まれる元素を分析することができる。
性能・構成内訳 分解能：1nm、倍率20～80万倍
最大試料サイズ：φ100mm×H29mm
エネルギー分散型X線分析装置付属
分析元素：Be～Am
主な用途
（分析対象物）		 各種材料の表面微細構造観察
設置場所 ※※※※※
留意事項 お問合わせ先：
みやざきファシリティネットワーク事務局
（宮崎大学 研究・産学地域連携推進機構 研究基盤支援部門 内）
e-mail: bunseki@of.miyazaki-u.ac.jp
研究成果
（論文・研究内容）
最終更新日：2025/04/26
設備利用お問い合わせ先情報
担当者氏名 ※※※※※
Tel ※※※※※
e-mail ※※※※※
URL https://www.iri.pref.miyazaki.jp/
設備利用料金情報
利用形態 単価
設備利用
 		4190
 円/時間
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