設備詳細
| 設備名称 |
非接触三次元表面構造解析顕微鏡 |
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| 分類 | 大項目 | 小項目 | ||
| 試験装置 | 測定器 | |||
| メーカー |
ZYGO |
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| 型番 |
NewView5010 |
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| 概要・外観 |
走査型白色干渉計により三次元形状を高分解能で非接触測定する装置。 |
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| 性能・構成内訳 |
垂直測定範囲1nm～5mm、垂直分解能 1nm |
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| 主な用途 （分析対象物） |
三次元測定機で測定不能な寸法の製品を非接触で測定する |
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| 設置場所 |
※※※※※ |
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| 留意事項 |
お問合わせ先： みやざきファシリティネットワーク事務局 （宮崎大学 研究・産学地域連携推進機構 研究基盤支援部門 内） e-mail: bunseki@of.miyazaki-u.ac.jp |
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| 研究成果 （論文・研究内容） |
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最終更新日：2025/04/26
設備利用お問い合わせ先情報
| 担当者氏名 |
※※※※※ |
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| Tel |
※※※※※ |
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※※※※※ |
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| URL | https://www.iri.pref.miyazaki.jp/ |
設備利用料金情報
| 利用形態 | 単価 |
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設備利用 |
4500 円/時間 |
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