設備詳細
設備名称 イオンミリング装置
分類 大項目 小項目
加工機 薄片加工
メーカー 日立
型番 IM4000
概要・外観
性能・構成内訳 使用ガス：Ar（アルゴン）ガス
加速電圧：0 ～ 6 kV
最大ミリングレート（材料Si）：300 µm/hr 以上
主な用途
（分析対象物）		 サンプルのエッチング
設置場所 ※※※※※
留意事項 お問合わせ先：
みやざきファシリティネットワーク事務局
（宮崎大学 研究・産学地域連携推進機構 研究基盤支援部門 内）
e-mail: bunseki@of.miyazaki-u.ac.jp
研究成果
（論文・研究内容）
最終更新日：2025/04/26
設備利用お問い合わせ先情報
担当者氏名 ※※※※※
Tel ※※※※※
e-mail ※※※※※
URL http://www.miyakonojo-nct.ac.jp/~techcen/index.html
設備利用料金情報
利用形態 単価
受託試験
　　※右の受託試験料金に、当該受託試験遂行に関連し必要となる経費【間接経費（受託試験料金の30％）】を合算した料金をお支払いいただきます。
 		2,160
(研磨用マスク＋
アルゴンガス
2,160円 / 回）
 円／時間
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