設備詳細
設備名称 透過電子顕微鏡用試料加工装置（断面試料作製）
分類 大項目 小項目
加工機 薄片加工
メーカー 日本電子
型番 EM-09100IS
概要・外観 ターボ分子ポンプで排気されるチャンバ、イオンソース傾斜機構、マスキングベルト（遮蔽材）保持機構、試料ステージ機構等により構成され、試料面上にセットされたマスキングベルトにイオンビームを垂直、または傾斜して照射し、試料の薄膜領域を形成する。
また、鏡面研磨やディンプルグラインダ処理といった予備処理を必要とせず、簡単な処理(短冊処理)のみで薄膜試料を作製することが可能である。
性能・構成内訳 試料サイズ：2.8mm×0.5mm×0.1mm
主な用途
（分析対象物）		 透過電子顕微鏡（TEM）観察用の断面試料加工
設置場所 ※※※※※
留意事項 消耗品は利用者が持ち込み

学外の方で利用を希望される場合は、以下をご参照ください。
https://www.miyazaki-u.ac.jp/crcweb/analysis_support/trusting_test/
研究成果
（論文・研究内容）		 1) Cross-sectional transmission electron microscope observation of Si clathrate thin films grown on Si (111) substrates
K. Sakai, H. Takeshita, T.Haraguchi, H. Suzuki, F. Ohashi, T. Kume, A. Fukuyama, S. Nonomura, T. Ikari, Thin Solid Films 621, pp. 32-35 (2017).
最終更新日：2025/08/03
設備利用お問い合わせ先情報
担当者氏名 ※※※※※
Tel ※※※※※
e-mail ※※※※※
URL https://www.miyazaki-u.ac.jp/crcweb/analysis_support/trusting_test/
設備利用料金情報
利用形態 単価
受託試験
　　※右の受託試験料金に、当該受託試験遂行に関連し必要となる経費【間接経費（受託試験料金の30％）】を合算した料金をお支払いいただきます。
 		81,800円／検体(断面試料作製)
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