設備詳細
設備名称 走査電子顕微鏡用イオンスパッタ装置
分類 大項目 小項目
処理装置 成膜
メーカー 日立
型番 E-1030およびE-1045
概要・外観 走査電子顕微鏡観察における絶縁性試料のチャージアップ防止のために、試料表面に金・白金・カーボン等をスパッターコートする装置です。
性能・構成内訳 ダイオード放電マグネトロン形（電場・磁場直交形）
電極形状:対向平行板（マグネット埋込み）
E-1030は膜厚測定ユニット付
E-1045はカーボンコートユニット付
主な用途
（分析対象物）		 走査電子顕微鏡観察のための試料前処理
金、白金およびカーボン等の電極形成
設置場所 ※※※※※
留意事項
研究成果
（論文・研究内容）
最終更新日：2025/08/03
設備利用お問い合わせ先情報
担当者氏名 ※※※※※
Tel ※※※※※
e-mail ※※※※※
URL https://www.miyazaki-u.ac.jp/crcweb/analysis_support/trusting_test/
設備利用料金情報
利用形態 単価



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